精密加工的概念是指被加工物体的抛光程度和外形尺寸达到精密加工标准，超精密加工提高了尺寸和抛光度出现了更严格的要求。随着机械工程的发展越来越复杂，数控技术，产品加工精度已达到纳米级，行业通用定义为数控超精密加工。根据现有数控超精密加工从开发技术的角度来看，最小操作级别是单原子直径。超精密原则上，在现有的工业要求下，加工可以满足所有精细加工条件，它不仅可以实现尺寸的精密加工，而且可以获得工件的表面粗糙度它也将在质量上得到改善。

1切割工艺

 

切削是影响超精密加工精度的重要因素之一链接。工作人员用钻石等硬物切割这种刀具能使工件成形。一般来说，切割后在切削过程中，加工件的表面粗糙度可以达到几十纳米的规格。在切削加工过程中，工件材料对超精密加工的影响结果很明显，如果加工材料太硬，会导致加工精度大度数减少。

 

2研磨工艺

 

磨削加工是指使用相关工具，如砂轮等，将加工产品的表面被加固。高性能磨床具有较好的磨削效果和精度可达到0.1nm，保证工件表面摩擦小于0.05μm。在磨削过程中，磨具的力学机理和指标系数加工产品的加工精度有着直接的影响。

 

3抛光工艺

 

抛光主要是通过精磨机械进行精密加工，通过通过物理、化学等方法，使被加工物体表面光滑，减少被加工物体表面粗糙度甚至可以完全消除工件表面的变质层。