如在加丁过程中对研抛工具形状、工件支撑状态以及加工参数等进行实时自适应控制，从而提高了加工精度和效率，发展成为“准确定性”超精密加工技术，这种方式是目前光学元件的主要加工方式，其中典型的准确定性超精密加工工艺包括小磨头抛光、磁流变抛光、气囊抛光、离子束抛光、应力盘抛光等，这些超精密加丁工艺可以通过控制驻留时间、压力、工件转速等参数确定去除函数，预知准确的材料去除量从而最终控制工件的面形(见图1-6(b))o

    与非确定性超精密加工技术相比，准确定性超精密加T技术具有以下特点:

 

    ①对加工设备精度要求较高：由于加工过程中需要控制加工点和丁具的相对位置精度,所以要求加工设备具有较高的重复定位精度，一般要求在0.01mm左右即可满足使用要求；②由于通过理论计算或试验可以得到加工过程的去除函数，所以较为准确地控制每次加工的去除量，通过对去除函数收敛性的分析仿真可以大大缩短加工周期，这样不仅提高了加丁精度，同时也缩短了加工效率、降低了生产成本；③可以通过加工设备复杂的多轴运动控制工具的轨迹，进行包括非球面、自由曲面等复杂曲面超精密加工。